氣體質量流量控制器智能氣路控制儀價格

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更新時間：2025-09-17 20:06:47瀏覽次數：772次

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上海歐銳鉑儀器科技有限公司

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產品簡介

便攜式智能氣路控制儀是基于熱式氣體質量流量控制器，來進行四種氣體（強腐蝕性氣體除外）混合，濃度稀釋的一種裝置。可根據客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進行控制。

詳細介紹

智能氣路控制儀是基于熱式氣體質量流量控制器，來進行多種氣體混合，濃度稀釋的一種裝置。可根據客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進行控制。

產品優勢：

? 流量監測、記錄 ? 自動多段進氣

? 濃度自動配比 ? 多種氣體可選

? MFC 故障監測 ? 超壓檢測與報警處理

? 無線通訊控制（可定制） ? 手機APP監測（可定制）

產品參數：

產品名稱	智能氣路控制儀
項目	參數	備注
流量范圍	標準四路	100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM (其他量程可定制，至大量程不超過30SLM)
精度	±1%F.S.	其他精度可選
響應時間	2秒
重復性	0.2%F.S.	單路重復精度0.2%F.S.
截止功能	≤0.6MPa	標配，位于總出氣口，常閉截止閥
整機尺寸	490mm×500mm×200mm	深×寬×高
供電電壓	220VAC	100W
單項功能	√	4路標配，位于混氣前，避免氣體返流
自動進氣	√	4路標配，按時間和流量自由編輯 10段數據點，3組數據切換，任意循環（定制）可實現：濃度配氣，時間配氣，壓力配氣
自動報警	√	標配，自動報警，自動關斷，實時監控設備狀態
數據處理	√	標配，數據記錄保存，導出到U盤進行存儲
外接通訊	可選	MODBUS-RTU
漏率	＜1×108atm.cc /sec He